真空腔體加工檢漏的方法主要有三種，其中氦質譜檢漏是真空檢漏領域里不可少的一種，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在檢漏中有較多應用。
真空腔體加工檢漏主要有三種：氦質譜檢漏，真空封泥檢測法，真空計檢漏法。下面就來詳細的介紹下這三種方法。
一、氦質譜檢漏
在真空檢漏中有很多應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由分析器、離子源、分析器、冷陰極電離規、收集器組成的質譜室和抽氣系統及電氣等部分組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，在洛倫茲力的作用下偏轉，進而形成了圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測到。其中呢，噴氦法和吸氦法是氦質譜檢漏常用的兩種方法。
二、真空封泥檢測法
用真空泥封住可疑的漏點，此時要注意觀察真空度的變化，如果貼上真空泥之后真空度上升較快，拿掉之后又會下降，這說明就是一個漏點哦。然而，這個方法在實際檢測中用的比較少。
三、真空計檢漏法
部分真空計的讀數與氣體種類有關，例如電離真空計，熱偶計。用氣體或者液體做示漏物質，這些真空計就成了探測器，一般鍍膜機上都會有真空計，在實際應用中也是比較常用的檢漏方法。熱偶計的示漏物質有二氧化碳，丁烷，酒精等，熱偶計的反應比較慢，要仔細觀察。用于電離計的示漏物質主要有氦，氬，酒精等。
以上呢就是比較常用的三種真空腔體加工檢漏的方法，大家呢也可以根據實際需要選擇適合的方法。
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