實驗室的真空腔體烘烤時的真空度變化結果，烘烤采用纏繞加熱帶的方式。當真空度達到約10-3 Pa時，開始給加熱帶逐漸通電加熱，保持腔體在150℃下進行長時間烘烤。烘烤過程中關閉離子泵，同時也給離子泵通電進行加熱烘烤，這時它只靠分子泵和前級泵來排氣。隨著腔體溫度的升高，腔內表面吸附的水蒸氣等氣體分子大量放出，真空度會惡化。氣體的放出量隨著烘烤時間的增加而逐漸減少，因此真空度也逐步好轉。停止烘烤時，切斷加熱帶和離子泵的烘烤電源，然后趁腔體仍處在高溫的狀態下對鈦升華泵進行除氣處理。鈦升華泵的除氣處理是指給Ti絲通電加熱，但又控制溫度在Ti升華溫度之下的操作。鈦升華泵除氣處理的目的是清掉吸附在Ti絲表面的氣體分子以及其他可能的污染物，以讓鈦升華泵的正常工作。完成鈦升華泵的除氣處理之后，啟動離子泵和鈦升華泵，增加真空排氣的力度。隨著排氣力度的增加和由于腔體溫度減少而放出氣體的減少，系統的真空度會好轉。
新完成的腔體烘烤時，一般需要一周時間，重復烘烤后單獨的烘烤時間可以適當減少。為了準確地測量真空度，停止烘烤后也應該對真空計進行除氣處理。如果真空泵能力足而且烘烤時間足的話，烘烤后真空度可上升幾個數量。
一個氣壓在1cm2的面積上產生約1kgf的壓力，對直徑20cm的法蘭來講，就是1t的壓力。圓筒或球形的腔體，由于構造的不同性使得壓力分散，腔體的壁厚2～4mm就不會變形。但是，對于方形腔體，側面的平板上要承受上噸的壓力，要通過增加壁厚或設置加強筋，才能不會變形。方形腔體一般情況下要比筒形和球形腔體重，而且價格高。所示為幾種代表性的真空腔體，分別為筒形、球形和方形。
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