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       真空腔體的內外壓差是指腔體內部和外部之間的壓力差異。在反應釜中，通過抽取氣體，使內部氣壓降低，形成真空狀態。與外部大氣壓相比，反應釜內部的氣壓較低，因此存在相應的內外壓差。

       內外壓差的大小取決于反應釜內部的抽氣能力和外部環境的壓力。一般情況下，反應釜的設計和抽氣系統的能力會使內外壓差保持在相應范圍內。常見的真空度單位是帕斯卡（Pa）或毫巴（mbar），內外壓差通常以這些單位來表示。

       內外壓差的大小對于真空腔體的應用很重要。較大的內外壓差意味著較高的真空度，適用于對高度真空環境要求較高的應用，如半導體制造、光學薄膜涂層等。而對于一些一般的真空應用，內外壓差可能較小，只要達到相應的真空度即可滿足需求。

       需要注意的是，對于某些應用場景，過大的內外壓差可能會對腔體結構和密封性能造成壓力負荷，需要進行合適的設計和增強。另外，內外壓差的變化過程中也需要注意平穩過渡，避免產生過大的壓力差導致腔體變形或損壞。

       綜上所述，真空腔體的內外壓差是通過抽氣系統控制的，對于不同的應用需求，內外壓差會有所差異，需要根據具體情況進行合理設計和控制。